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環境試験・受託試験

酸化膜特性評価システム TDDB

酸化膜信頼性評価システム TDDB(型式:D300)

  • TDDB(Time Dependent Dielectric Breakdown:酸化膜経時破壊)により、ゲート酸化膜の信頼性評価を行う装置です。
  • チャンネル毎に電源をそなえ、ゲート酸化膜に対する電界依存性、電流密度依存性を多chに対して同時に測定できます。
  • 電圧印加に加え電流印加機能も備えているため、電流印加の電圧測定も可能です。
  • 電圧ランプ印加が標準で装備されています。
  • 標準150Vの電圧印加から、200V、300Vの高電圧での印加も用意しています。
  • マニュアルプローバ、フルオートプローバ、恒温槽との接続が可能です。
TDDB仕様
印加測定電圧 150V(分解能10mV)
15V(分解能1mV)
200V(分解能10mV)
20V(分解能1mV)
300V(分解能10mV)
100V(分解能10mV)
最大CH数 320ch 320ch 160ch
印加測定電流 20mA(分解能1μA)
2mA(分解能100nA)
200μA(分解能10nA)
20μA(分解能1nA)
2μA(分解能100pA)
200nA(分解能10pA)
20mA(分解能1μA)
2mA(分解能100nA)
200μA(分解能10nA)
20μA(分解能1nA)
2μA(分解能100pA)
200nA(分解能10pA)
10mA(分解能1μA)
2mA(分解能100nA)
200μA(分解能10nA)
20μA(分解能1nA)
2μA(分解能100pA)
200nA(分解能10pA)

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