商品情報
SEPAREL PF-Fシリーズ
- 製品形状
- 円筒状（一部品番を除く）
- 機能・種類
- 内部灌流型モジュール
- 成分
- 中空糸材質：PTFE（ポリテトラフルオロエチレン）
- 特長
- 脱気膜にPTFEを採用した、接液部がすべてフッ素樹脂製の脱気モジュールです。
酸・アルカリ・有機溶剤などの液体からも脱気が可能です。 - メーカー名
- DIC株式会社
| 型式 | 流量 | 寸法 | 耐圧 | 使用温度 | 接続 | 接続 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| mL/min | MPa | ℃ | 液体側 | 真空側 | ||
| PF-3T-S-F | 1-20 | 29mm×58mm×86mm | 0.2 | ～40 | 4×2チューブ出し | 4×2チューブ出し |
| PF-03F | 1-100 | 102mmΦ×180mm | 0.294 | ～40 | 1/4スーパーピラー | Rc 1/8 |
| PF-05F | 1-100 | 102mmΦ×180mm | 0.294 | ～40 | 1/4スーパーピラー | Rc 1/8 |
| PF-10F | 1-200 | 102mmΦ×260mm | 0.294 | ～40 | 1/4スーパーピラー | Rc 1/8 |
| PF-13F | 1-300 | 102mmΦ×260mm | 0.294 | ～40 | 1/4スーパーピラー | Rc 1/8 |
| PF-28F | 1-500 | 102mmΦ×440mm | 0.294 | ～40 | 3/8スーパーピラー | Rc 1/8 |
| 型式 | 流量 | 寸法 | 耐圧 | 使用温度 | 接続 | 接続 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| mL/min | MPa | ℃ | 液体側 | 真空側 | ||
| PF-13F(T) | 1-500 | 102mmΦ×260mm | 0.294 | ～40 | 1/4スーパーピラー | Rc 1/8 |
| PF-26F(T) | 1-500 | 102mmΦ×450mm | 0.294 | ～40 | 10mmスーパーピラー | Rc 1/4 |
- 主な用途
- 半導体・LCD製造プロセスで用いる液体の脱気、脱泡（各種レジスト、シンナー、薬液など）
溶剤系ジェットインクの脱気